中晶半導體有限公司采購徠卡晶圓檢測顯微鏡DM12000M
中晶(嘉興)半導體有限公司成立于2018年,注冊資本為10億元人民幣。
所屬行業為計算機、通信和其他電子設備制造業,
經營范圍包含:半導體分立器、電子**材料生產、銷售;電子技術、新材料技術、光電技術的技術開發、技術咨詢、技術服務、
技術轉讓;道路貨物運輸;從事進出口業務。
徠卡12寸全自動晶圓檢測顯微鏡
· 研究級材料顯微鏡,適合晶圓、電子元器件、金屬、陶瓷、高分子材料、粉塵顆粒等樣品觀察分析,多種安全設計,保護晶圓,鏡頭及觀察者
· 模塊化設計,可實現透、反射觀察
· 復消色差光路,整體光路支持25mm視野直徑
· 6孔位電動物鏡轉盤,配接直徑32mm長工作距離物鏡,物鏡轉盤帶編碼,可在不同倍數的物鏡下自動加載相應倍數的比例尺
· 12 X 12大樣品臺,可實現12寸晶圓的直接觀察
· 內置手動/電動調焦系統
· 獨有的0.7X宏觀物鏡,具有晶圓檢查功能
· 可提供全自動明場、暗場、偏光、微分干涉、斜照明等觀察方式
· 機身內置LED透、反射照明光源,智能光強變化的控制照明方式
· 可選配UV光源,提高分辨率至亞微米結構,UV由大功率的LED產生,具有UV和OUV功能
· 可自動記憶不同物鏡與觀察方式下**的光強,光闌及聚光鏡的組合,自動恢復到位,操作簡單快速
· 光強,光闌,觀察方式和聚光鏡調節除了按鍵控制外,還可由計算機控制
· 可連接晶圓搬送機進行連續工作
· 可配接攝像頭觀察和采集圖像,并提供專業分析軟件
· 可配接高溫熱臺,熒光光源,陰極發光儀,光度計等
產品特點
· 適用于所有觀察方法的 LED 照明系統,LED 不會產生熱量,以此保護樣本。色溫穩定,確保得出真實的可再現分析結果
· 利用 0.7X 的全景物鏡,能夠獲得對樣本表面的快速總覽
· 高分辨率暗場 (HDF),為您呈現更多細節
· UV和OUV觀察方式進一步提高了橫向分辨率和縱向分辨能力
· 軟件強大的專業分析功能,包括晶粒度分析、相分析、鑄鐵分析、脫碳分析、夾雜物分析和清潔度分析